檢驗液晶基板內(nèi)幾十um厚度的薄膜紋路，根據(jù)需要用激光照射來清除微小紋路的修復(fù)系統(tǒng)?？杉庸ご笮鸵壕Щ澹O(shè)備整體為龍門式結(jié)構(gòu)。另外，在加工頭上裝有高倍攝像頭，用于確認(rèn)加工情況。

直線電機的應(yīng)用

• 直線電機以及間距誤差修正帶來的高剛性龍門驅(qū)動

• 增益調(diào)整功能同時確保加工時（低速）的XY直線插補的軌跡準(zhǔn)確，以及快進（高速）時的穩(wěn)定性。

• 加工時的魯棒干擾控制功能可抑制電纜干擾引起的速度波動